Sala Limpia de micro y nanofabricación
Descripción
Desarrollamos e implementamos tecnologías y procesos de micro y nanofabricación, con el objetivo de innovar en el área de sensores, biosensores, componentes electrónicos, microsistemas, Lab on a Chip, Organ on a Chip y plataformas microfluídicas. Nos especializamos en el diseño, simulación computacional y fabricación de microestructuras de silicio, polímeros, fotorresinas de alta relación de aspecto, películas delgadas semiconductoras, metálicas y dieléctricas. Realizamos edición de circuitos integrados, nanometrología y nanofabricación mediante SEM/FIB/EBL.
Contamos con una sala limpia de 150 m² (ISO 14644 clase ISO 5, 6 y 7) de alta complejidad tecnológica con procesos como:
- Litografía óptica y electrónica: resoluciones 1 micrón / 3 nanómetros
- Crecimiento y grabado de películas delgadas: sputtering, CVD, spincoating, ataque químico, RIE y modificación de superficies por plasma.
- Encapsulado de dispositivos: wafer & wire bonding y corte de obleas.
- Caracterización y testing a nivel de oblea y de dispositivos microfluídicos.
Necesidades que resuelve
Brindamos asistencia técnica a la industria y a la comunidad científica para la implementación de dispositivos y microestructuras a escala piloto orientadas al desarrollo de microelectrodos, microsensores, biosensores, sistemas de microfluídica, entre otros.
Alcance
Contamos con una infraestructura de alta complejidad al servicio de las empresas, universidades, instituciones y organismos de ciencia y técnica. Impulsamos desarrollos, pruebas de concepto e innovación en materiales y nuevos productos de alto valor agregado. Además, trabajamos en la formación de recursos humanos.
Grupo de trabajo
Nanotecnología, Micro y Nanofabricación
Palabras clave
Sala limpia, litografía, películas delgadas, encapsulado, microestructuras, microelectrónica, microdispositivos, microfabricación, microelectrodos, microsensores, biosensores, microfluídica, lab on a chip, FIB, SEM, EBL.
Más información
Laura Malatto
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